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KASHIYAMA干式真空泵MU-X系列 節(jié)能，省電世界?。? （※排氣速度同級） 可嵌入所有制造裝置 2萬臺以上的出貨和超長期運行實績

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KASHIYAMA快速排氣15萬L/min以上真空泵 SDL系列特點 晶圓、FPD的切實應對大口徑化 通過組合大排氣量可化。15萬L/min以上滿足上面的要求

KASHIYAMA大口徑快速排氣真空泵SD系列 晶圓、FPD的切實應對大口徑化 通過組合大排氣量可化。15萬L/min以上滿足上面的要求 高速排氣 縮短節(jié)拍時間，為了確保大氣側(cè)排氣速度，大型負載鎖定器，快速排氣推桿縮短時間。

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KASHIYAMA省能型大排氣量真空泵SDE系列 立式螺桿 特殊材料的高耐腐蝕性 以螺桿形狀 節(jié)省能源 支持所有進程

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KASHIYAMA特殊材質(zhì)高耐腐蝕性真空泵SDE系列 立式螺桿 特殊材料的高耐腐蝕性 以螺桿形狀 節(jié)省能源 支持所有進程